C/G 测量精度实例
频率 测量的电容 C 精度 1 G 精度 1, 2
10 MHz 3 1 pF ±0.92% ±590 ns
10 pF ±0.32% ±1.8 µs
100 pF ±0.29% ±17 µs
1 nF ±0.35% ±99 µs
1 MHz 1 pF ±1.17% ±64 ns
10 pF ±0.19% ±65 ns
100 pF ±0.10% ±610 ns
1 nF ±0.09% ±4 µs
100 kHz 10 pF ±0.31% ±28 ns
100 pF ±0.18% ±59 ns
1 nF ±0.10% ±450 ns
10 nF ±0.10% ±3 µs
10 kHz 100 pF ±0.31% ±15 ns
1 nF ±0.15% ±66 ns
10 nF ±0.08% ±450 ns
100 nF ±0.10% ±3 µs
1 kHz 1 nF ±0.82% ±40 ns
10 nF ±0.40% ±120 ns
100 nF ±0.10% ±500 ns
1 µF ±0.15% ±10 µs

1. 电容和电导测量精度是在下述条件下给出的:DX < 0.1。
2. 电导精度指定为参考的电容上测量的最大电导。
3. 这些指标是典型值,非保证值,适用于23℃,仅供参考。
4. 积分时间:10 kHz 以下时为1 s 或10 s。测试信号电平: 30 mV rms。在4210-CVU 的后面板上。
所有技术数据适用于23℃ ±5℃、校准后一年以内、相对湿度5%~60%、预热30 分钟后。

CVU 电缆补充技术指标3

这些指标是典型值,非保证值,适用于23℃,仅供参考。

4210-CVU 典型电容精度,1.5m 电缆( 补充)
测得电容 1 kHz 10 kHz 100 kHz 1 MHz 10 MHz
1 pF - ±8.38% ±1.95% ±0.43% -
10 pF - ±0.94% ±0.21% ±0.18% ±1%
100 pF - ±0.29% ±0.20% ±0.15% ±1%
1 nF ±0.72% ±0.17% ±0.12% ±0.16% ±2%
10 nF ±0.28% ±0.12% ±0.13% ±0.55% -
100 nF ±0.12% ±0.13% ±0.22% ±1.14% -
1 mF ±0.17% ±0.21% - - -
4210-CVU 典型电容精度,3m 电缆( 补充)
测得电容 1 kHz 10 kHz 100 kHz 1 MHz 10 MHz
1 pF - ±8.5 % ±2.05% ±0.57% -
10 pF - ±0.96% ±0.23% ±0.21% -
100 pF - ±0.29% ±0.20% ±0.17% -
1 nF ±0.72% ±0.17% ±0.12% ±0.18% -
10 nF ±0.28% ±0.12% ±0.13% ±0.65% -
100 nF ±0.12% ±0.13% ±0.22% ±1.16% -
1 mF ±0.17% ±0.21% - - -

1. 电容和电导测量精度是在下述条件下指定的:DX < 0.1。
2. 电导精度指定为参考的电容上测量的最大电导。
3. 这些指标是典型值,非保证值,适用于23℃,仅供参考。
4. 积分时间:10 kHz 以下时为1 s 或10 s。测试信号电平: 30 mV rms。在4210-CVU 的后面板上。所有技术数据适用于23℃
±5℃、校准后一年以内、相对湿度5%~60%、预热30 分钟后。

4. CV-IV 多通道开关???/h4>

I-V/C-V 多通道开关自动在I-V 测量和C-V 测量之间切换。此外,C-V 测量可以 在不同端口间自动切换,而不需重新布线。用户可以配置每个通道,使用4200- PA 前端放大器或标准电流分辨率时,选择SMU 直传???200A-CVIV-SPT 保证 低电流测量精度。

4200A-CVIV 基本信息
输入接口
4200-PA 前端放大器:自定义, 15 针, D-Sub ( 公头)
4200-CVIV-SPT SMU 直传??椋好扛瞿?榱礁鋈峤涌? 母头)
CVU:四个SMA 接口( 母头)
输出接口
8 个三同轴接口( 母头)
外观尺寸
19.8 cm 宽 x 14.2 cm 高 x 11.1 cm 深
(7.8 英寸宽 x 5.6 英寸高 x 4.4 英寸深)
重量
1.5 公斤(3.3 磅)
供电
通过USB 电缆连接至4200A-SCS 主机
输出通道
可以配置最多4 个通道
最大电压
210 V
最大电流
1A
SMU 通道
  采用 4200-PA 采用 4200A-CVIV-SPT
偏置电流 <100 fA < 1pA
偏置电压 <100mV <100mV
并联电阻 >1e15W >1e14W
DC 输出电阻 (2 线 ) 1.5W 1.5W
DC 输出电阻 (4 线 ) <100 mW <100 mW
SMU 通道
AC 输出阻抗
100Ω, 典型值( 中间芯线到外部屏蔽层)
精度, 典型值
参阅下表
CVU DC 偏置功能
范围
±30V @ 10 mA 最大值(60V 差分)
分辨率
1 mV
其他误差( 对CVU 偏置功能)
<50µV
DC 输出电阻(4 线)
<100 mΩ
4210-CVU 连接到4200A-CVIV 多通道开关的典型精度,除另外标注外均为2 线模式1,3
测得电容 1 kHz 10 kHz 100 kHz 1 MHz
1 pF 未指明 ±9.0% ±2.2% ±0.7%
10 pF 未指明 ±1.0% ±0.5% ±0.5%
100 pF 未指明 ±0.5% ±0.5% ±0.5%
1 nF ±0.8% ±0.5% ±0.5% ±0.5% 2
10 nF ±0.5% ±0.5% ±0.5% ±0.75% 2
100 nF ±0.5% ±0.5% ±0.5% ±1.25% 2
1mF ±0.5% ±0.5% 未指明 未指明

1. CVU 补偿时间不超过一个月内有效。
2. 4 线模式下指定;低阻抗器件推荐使用4 线测试。
3. 上述技术数据是典型值,非保证值,适用于25℃,仅供参考。

5. 超快速脉冲测量单元

2 通道4225-PMU 同时提供了超快速电压波形发生器及电压电流同步快速测试功能。

4225-PMU 基本信息
输出接口
四个SMA 接口( 母头) 和两个HDMI 接口
提供的电缆
SMA( 公头) 到SMA ( 公头), 2m, 每台4 根(CA-404B)
SMA 到SSMC Y 型电缆, 6 英寸(15 cm), 每台2 根(4200-PRB-C)
选配附件
4225-RPM 单通道, 远程前端放大器/ 开关???/dd>

PMU 电流测量

定时参数,有和没有4225-RPM 远程前端放大器/ 开关??槭钡牡湫椭?/h5>
  10 V 量程 40 V 量程
电流测量量程 10 mA 200 mA 100mA 10 mA 800 mA
推荐最小脉冲宽度 2 160 ns 70 ns 6.4ms 770 ns 770 ns
推荐最小测量窗口 2 20 ns 20 ns 1ms 100 ns 100 ns
推荐最小跳变时间 3 20 ns 20 ns 1ms 100 ns 100 ns
噪声 4 15mA 50mA 75 nA 5mA 200mA
稳定时间 5 100 ns 30 ns 4ms 500 ns 500 ns

1. 所有典型值都使用开路测得。
2. 使用75%~90% 的脉冲顶部默认测量窗口。推荐最小脉冲宽度 = ( 稳定时间) / 75%。
3. 推荐上升/ 下降时间,使过冲达到最小。
4. 电压或电流量程一定时推荐最小测量窗口上测得的RMS 噪声,典型值。
5. 信号稳定到DC 精度电平所需的时间。( 例:10mA 电流量程在PMU 10V 量程下的稳定时间定义为信号稳定到最终值的1.25%范围内所需时间。计算公式:精度 = 0.25% + 100mA = 0.25% + (100mA/10 mA) = 0.25% + 1% = 1.25%)。

定时参数,使用4225-RPM 远程前端放大器/ 开关??槭钡牡湫椭?
电流测量量程            
100 nA 1mA 10mA 100mA 1 mA 10 mA  
推荐最小脉冲宽度 2 134ms 20.4ms 8.36ms 1.04ms 370 ns 160 ns
推荐最小测量窗口 2 10ms 1.64ms 1ms 130 ns 40 ns 20 ns
推荐最小跳变时间 3 1ms 360 ns 360 ns 40 ns 30 ns 20 ns
噪声 4 200 pA 2 nA 5 nA 50 nA 300 nA 1.5mA
稳定时间 5 100ms 15ms 6 μs 750 ns 250 ns 100 ns

1. 所有典型值都使用开路测得。
2. 使用75%~90% 的脉冲顶部默认测量窗口。推荐最小脉冲宽度 = ( 稳定时间) / 75%。
3. 推荐上升/ 下降时间,使过冲达到最小。
4. 电压或电流量程一定时推荐最小测量窗口上测得的RMS 噪声,典型值。
5. 信号稳定到DC 精度电平所需的时间。( 例:10mA 电流量程在PMU 10V 量程下的稳定时间定义为信号稳定到最终值的1.25% 范围内所需时间。计算公式:精度 = 0.25% + 100mA = 0.25% + (100mA/10 mA) = 0.25% + 1% = 1.25%)。

PMU 电流测量精度

仅4225-PMU
  10 V 量程 40 V 量程
电流测量量程 10 mA 200 mA 100 mA 10 mA 800 mA
精度 (DC) ±(0.25% + 100 mA) ±(0.25% + 250 mA) ±(0.25% + 1mA) ±(0.5% + 100mA) ±(0.25% + 3 mA)
4225-PMU 和RPM 组合
  10 V 量程
电流测量量程 100 nA 1mA 10mA 100mA 1 mA 10 mA
精度 (DC) ±(0.5% + 1 nA) ±(0.5% + 1 nA) ±(0.5% + 30 nA) ±(0.5% + 100 nA) ±(0.5% + 1mA) ±(0.5% +10mA)

PMU 电压测量

定时参数, 典型值1
  4225-PMU 4225-RPM
电压测量量程 10 V 40 V 10 V
推荐最小脉冲宽度 2 70 ns 150 ns 160 ns
推荐最小测量窗口 2 20 ns 20 ns 20 ns
推荐最小跳变时间 3 20 ns 100 ns 20 ns
噪声 4 2 mV 8 mV 1 mV
稳定时间 5 30 ns 30 ns 100 ns

1. 所有典型值都使用开路测得。
2. 使用75%~90% 的脉冲顶部默认测量窗口。推荐最小脉冲宽度 = ( 稳定时间) / 75%。
3. 推荐上升/ 下降时间,使过冲达到最小。
4. 电压或电流量程一定时推荐最小测量窗口上测得的RMS 噪声,典型值。
5. 信号稳定到DC 精度电平所需的时间。( 例:10mA 电流量程在PMU 10V 量程下的稳定时间定义为信号稳定到最终值的1.25%范围内所需时间。计算公式:精度 = 0.25% + 100mA = 0.25% + (100mA/10 mA) = 0.25% + 1% = 1.25%)。

PMU 电压精度

  ±10 V PMU ±40 V PMU ±10 V RPM
精度 (DC) ±(0.25% + 10 mV) ±(0.25% + 40 mV) ±(0.25% + 10 mV)

电压和电流, 最大值1

  10V 量程 40V 量程
电阻 2 最大电压 2 最大电流 2 最大电压 2 最大电流 2
1 Ω 0.196 V 196 mA 0.784 V 784 mA
5 Ω 0.909 V 182 mA 3.64 V 727 mA
10 Ω 1.67 V 167 mA 6.67 V 667 mA
25 Ω 3.33 V 133 mA 13.3 V 533 mA
50 Ω 5.00 V 100 mA 20.0 V 400 mA
100 Ω 6.67 V 66.7 mA 26.7 V 267 mA
250 Ω 8.33 V 33.3 mA 33.3 V 133 mA
1 kΩ 9.52 V 9.5 mA 38.1 V 38.1 mA
10 kΩ 9.95 V 995 mA 39.8 V 3.98 mA

1. 计算任何负载电阻上得到的最大电流和电压:
IMAX = 电压量程/(50W + 电阻)
VMAX = IMAX - 电阻
其中:电阻是连接到PMU 或PGU 通道的总电阻,电压量程为10 或40。例:采用10 V 量程 R= 10W (DUT 阻值 + 互连阻值)
VMAX = IMAX - R = 0.167 - 10 = 1.67 V
2. 脉冲输出接口上典型的最大值。电阻是连接到脉冲输出接口的总电阻,包括器件和互连电阻。

PMU 脉冲/ 幅值1,2

    10 V 量程 40 V 量程
VOUT 50Ω 至 1 MΩ -10 V ~ +10 V -40 V ~ +40 V
VOUT 50Ω 至 50Ω -5 V ~ +5 V -20 V ~ +20 V
精度   ±(0.5% + 10 mV) ±(0.2% + 20 mV)
分辨率 50Ω 至 50Ω <250 mV <750 mV
50Ω 至 1 MΩ <0.05 mV <1.5 mV
过冲/ 预冲/ 振铃 3 50Ω 至 50Ω ±(3% + 20 mV) ±(3% + 80 mV)
50Ω 至 50Ω, 最好情况典型值 ±(2% + 20 mV) ±(0.8% + 40 mV)
基线噪声   ±(0.3% + 1 mV) RMS 典型值 ±(0.1% + 5 mV) RMS 典型值
源阻抗   50Ω 标称值 50Ω 标称值
电流至 50Ω 负载( 在满量程时)   ±100 mA 典型值 ±400 mA 典型值
短路电流   ±200 mA ±800 mA
输出限制?;?/td>   可编程极限,?;け徊馄骷?/td>

1. 除另外指明外,所有技术数据均假设采用50W 端接。
2. 幅值指标适用于10 V 源量程50 ns 的典型稳定时间后( 在转换后),40 V 源量程500 ns 的典型稳定时间后( 转换后),负载均为50W。
3. 对10 V 源范围,跳变时间为20 ns (0%-100%);对40 V 源范围,跳变时间为100 ns (0%-100%)。

PMU 脉冲定时

  10 V 量程仅源 10 V 量程带测量 40 V 量程仅源 40 V 范围带测量
频率范围 1 Hz ~ 50 MHz 1 Hz ~ 8.3 MHz 1 Hz ~ 10 MHz 1 Hz ~ 3.5 MHz
定时分辨率 10 ns 10 ns 10 ns 10 ns
RMS 抖动 ( 时间周期 ,
宽度 ), 典型值
0.01% + 200 ps 0.01% + 200 ps 0.01% + 200 ps 0.01% + 200 ps
周期范围 20 ns ~ 1 s 120 ns ~ 1 s 100 ns ~ 1s 280 ns ~ 1s
精度 ±1% ±1% ±1% ±1%
脉冲宽度范围 10 ns ~
( 周期 -10 ns)
60 ns ~
( 周期 -10 ns)
50 ns ~
( 周期 -10 ns)
140 ns ~  ( 周期 -10 ns)
精度 ±(1% + 200 ps) ±(1% + 200 ps) ±(1% + 5 ns) ±(1% + 5 ns)
可编程跳变时间
(0%-100%)
10 ns ~ 33 ms 20 ns ~ 33 ms 30 ns ~ 33 ms 1 100 ns ~ 33 ms
跳变上升速率精度 ±1%( 跳变 > 100 ns) ±1%( 跳变 > 100 ns) ±1%( 跳变 > 1 μs) ±1%( 跳变 > 100 ns)
固态继电器开 / 关时间 25ms 25ms 25ms 25ms

1. 在电压<10 V 时,40V 范围最小可编程跳变时间( 仅源) 为30ns;在电压>10 V 时,为100 ns。

电压源, 最好性能

在采用4225-PMU 作为纯电压源时( 不测量电压或电流),定时性能会得到改进。下面更清楚地阐述了作为电压源使用时的最 好性能,这是在最优条件下实现的。这些数据不应理解为保障值。

  10V 量程 40V 量程
上升时间 <10 ns 50 ns ~ 10 V, 100 ns ~ 40 V
脉冲宽度 10 ns (FWHM) 50 ns (FWHM)
周期 20 ns 100 NS
过冲/ 下冲/ 振铃 ±(2% + 20 mV) ±(0.5% + 40 V)

触发

触发输出阻抗
50Ω
触发输出电平
TTL
触发输入阻抗
10 k
触发输入电平
TTL
触发输入跳变定时,最大值
<100 ns
触发输入到脉冲输出延迟
400 ns
触发同步/ 抖动1
<2 ns

Segment ARB® 和定时

Segment ARB 功能适用于4225-PMU 和4220-PGU,适用于有或没有4225-RPM 远程前端放大器/ 开关??榈那榭?。

最大段数2
2048
最大序列数2
512
最大序列循环数
1012
每段时间
20 ns ~ 40 s
段定时分辨率
10 ns
每段的控制参数
开始电压
停止电压
持续时间
测量窗口( 仅PMU 或PMU+RPM)
测量类型( 仅PMU 或PMU+RPM)
RMS 抖动( 段)
0.01% + 200 ps 典型值

1. 对一台4200A-SCS 机箱中有多张4225-PMU 或4220-PGU 卡。
2. 每个通道。

6. 脉冲发生器单元

在不需要脉冲测量时,2 通道纯电压脉冲发生器为4225-PMU 超快速脉冲测量单元提供了经济的替代方案。

4220-PGU 基本信息

输出接口
四个SMA 接口( 母头)
标配电缆
SMA ( 公头) 到SMA( 公头), 2 m, 每台4 根(CA-404B)
SMA ( 公头) 到SSMC Y 型电缆, 15 cm (6 英寸), 每台2 根(4200-PRB-C)

脉冲/ 电平1,2

    10V 量程 40V 量程
VOUT 50Ω 至 1 MΩ -10 V ~ +10 V -40 V ~ +40 V
VOUT 50Ω 至 50Ω -5 V ~ +5 V -20 V ~ +20 V
精度 - ±(0.5% + 10 mV) ±(0.2% + 20 mV)
分辨率 50Ω 至 50Ω <250mV <750mV
50Ω 至 1 MΩ <0.5 mV <1.5 mV
过冲/ 下冲/ 振铃 3 50Ω 至 50Ω ±(3% + 20 mV) ±(3% + 80 mV)
50Ω 至 50Ω, 最好情况典型值 ±(2% + 20 mV) ±(0.8% + 40 mV)
基线噪声 - ±(0.3% + 1 mV) RMS 典型值 ±(0.1% + 5 mV) RMS 典型值
源阻抗 - 50Ω 标称值 50Ω 标称值
电流至 50Ω 负载
( 在满量程时 )
- ±100 mA 典型值 ±400 mA 典型值
短路电流 - ±200 mA ±800 mA
输出限制?;?/td> - 可编程极限,?;け徊馄骷?/td>

1. 除另行指明外,所有技术数据均假设50W 端接。
2. 电平指标适用于10 V 源量程50 ns 的典型稳定时间后( 在转换后),40 V 源量程500 ns 的典型稳定时间后( 转换后),负载均为50W。
3. 对10 V 源范围,跳变时间为20 ns (0%-100%);对40 V 源范围,跳变时间为100 ns (0%-100%)。

脉冲定时

  10 V 量程,
仅源
40 V 量程,
仅源
频率范围 1 Hz ~ 50 MHz 1 Hz ~ 10 MHz
定时分辨率 10 ns 10 ns
RMS 抖动 ( 时间周期 , 宽度 ), 典型值 0.01% + 200 ps 0.01% + 200 ps
周期范围 20 ns ~ 1 s 100 ns ~ 1s
精度 ±1% ±1%
脉冲宽度范围 10 ns ~ ( 周期 -10 ns) 50 ns ~ ( 周期 -10 ns)
精度 ±(1% + 200 ps) ±(1% + 5 ns)
可编程跳变时间 (0%-100%) 10 ns ~ 33 ms 30 ns ~ 33 ms 1
跳变上升速率精度 ±1%
( 跳变 > 100 ns)
±1%( 跳变 > 1 ms)
固态继电器开 / 闭时间 25 ms 25 ms

1. 对10 V 源范围,跳变时间为30 ns;对>10 V 源范围,跳变时间为100 ns。

电压源, 最好性能

在采用4225-PMU 作为纯电压源时( 不测量电压或电流),定时性能会得到改进。下面更清楚地阐述了作为电压源使用时的最 好性能,这是在最优条件下实现的。这些数据不应理解为保障值。

  10V 量程 40V 量程
上升时间 <10 ns 50 ns ~ 10 V, 100 ns ~ 40 V
脉冲宽度 10 ns (FWHM) 50 ns (FWHM)
周期 20 ns 100 NS
过冲/ 下冲/ 振铃 ±(2% + 20 mV) ±(0.5% + 40 V)
触发输出阻抗
50Ω
触发输出电平
TTL
触发输入阻抗
10 k
触发输入电平
TTL
触发输入跳变定时,最大值
<100 ns
触发输入到脉冲输出延迟
400 ns
触发同步/ 抖动1
<2 ns

Segment ARB® 和定时

Segment ARB 功能适用于4225-PMU 和4220-PGU,适用于有或没有4225-RPM 远程前端放大器/ 开关??榈那榭?。

最大段数2
2048
最大序列数2
512
最大序列循环数
1012
每段时间
20 ns ~ 40 s
段定时分辨率
10 ns
每段的控制参数
开始电压
停止电压
持续时间
测量窗口( 仅PMU 或PMU+RPM)
测量类型( 仅PMU 或PMU+RPM)
RMS 抖动( 段)
0.01% + 200 ps 典型值

1. 适用于一个4200A-SCS 机箱中的多张4225-PMU 或4220-PGU 卡。

7. 远程前端放大器/ 开关???/h4>

4225-RPM 可以在I-V 测量、C-V 测量和脉冲式I-V 测量之间自动切换,允许选 择相应的测量,而不需对测试设置重新布线。此外,RPM 扩展了4225-PMU 脉冲 测量??榈牡缌髁砍?。

4225-RPM 基本信息

输入
三个输入。SMU Force, SMU Sense, CVU Pot, CVU Cur, RPM Control
输出
一个通道
输入接口
三同轴接口( 母头), 两个SMA 接口( 母头), 两个HDMI
输出接口
三同轴接口( 母头), 两个
外观尺寸
1.34 英寸宽 x 4.9 英寸深 x 3.0 英寸高(3.4 cm 宽 x 12.5 cm 深 x 7.6 cm 高)
带底座时外观尺寸
1.34 英寸宽 x 4.9 英寸深 x 3.8 英寸高(3.4 cm 宽 x 12.5 cm 深 x 9.6 cm 高)
重量
8.6 盎司(245 克) ( 带底座时: 13.4 盎司(381 克))
选配附件
磁性底座
真空底座

RPM 电流测量

定时参数, 带有4225-PMU 和4225-RPM 远程前端放大器/ 开关??榈牡湫椭?/h5>
电流测量量程 100 nA 1mA 10mA 100mA 1 mA 10 mA
推荐最小脉冲宽度 2 134ms 20.4ms 8.36ms 1.04ms 370 ns 160 ns
推荐最小测量窗口 2 10 ms 1.64ms 1ms 130 ns 40 ns 20 ns
推荐最小跳变时间 3 1ms 360 ns 360 ns 40 ns 30 ns 20 ns
噪声 4 200 pA 2 nA 5 nA 50 nA 300 nA 1.5mA
稳定时间 5 100ms 15ms 6ms 750 ns 250 ns 100 ns

1. 所有典型值都使用开路测得。
2. 使用75%~90% 的脉冲顶部默认测量窗口。推荐最小脉冲宽度 = ( 稳定时间) / 75%。
3. 推荐上升/ 下降时间,使过冲达到最小。
4. 电压或电流量程一定时推荐最小测量窗口上测得的RMS 噪声,典型值。
5. 信号稳定到DC 精度电平所需的时间。( 例:10mA 电流量程在PMU 10V 量程下的稳定时间定义为信号稳定到最终值的1.25%范围内所需时间。计算公式:精度 = 0.25% + 100 μA = 0.25% + (100 μA/10 mA) = 0.25% + 1% = 1.25%)。

电流测量精度

4225-PMU 和RPM 组合
  10 V 范围
电流测量范围 100 nA 1mA 10mA 100mA 1 mA 10 mA
精度 (DC) ±(0.5% + 1 nA) ±(0.5% + 1 nA) ±(0.5% + 30 nA) ±(0.5% + 100 nA) ±(0.5% + 1mA) ±(0.5% +10mA)

脉冲/ 电平1

脉冲 / 电平 1 4225-PMU 及 4225-RPM
VOUT -10 V ~ + 10 V
到开路负载的精度 2 ±(0.5% ± 10 mV)
分辨率 < .05mV
基线噪声 ±(0.39% ± 1 mV) RMS 典型值
过冲/ 下冲/ 振铃 3 ± 2% 的幅度 ± 20 mV

1. 在4225-PMU 和4225-RPM 远程前端放大器/ 开关??橹涫褂?m RPM 互加电缆时4225-RPM 三同轴输出接口处的性能。
2. 100mV ~ 10V。
3. 典型值, 跳变时间100ns (0% - 100%)。

使用4225-PMU 进行RPM 电压测量

定时参数, 典型值1
  4225-RPM
电压测量范围 10 V
推荐最小脉冲宽度 2 160 ns
推荐最小测量窗口 2 20 ns
推荐最小跳变时间 3 20 ns
噪声 4 1 mV
稳定时间 5 100 ns

1. 所有典型值都使用开路测得。
2. 使用75%~90% 的脉冲顶部默认测量窗口。推荐最小脉冲宽度 = ( 稳定时间) / 75%。
3. 推荐上升/ 下降时间,使过冲达到最小。
4. 电压或电流量程一定时推荐最小测量窗口上测得的RMS 噪声,典型值。
5. 信号稳定到DC 精度电平所需的时间。( 例:10mA 电流量程在PMU 10V 量程下的稳定时间定义为信号稳定到最终值的1.25%范围内所需时间。计算公式:精度 = 0.25% + 100mA = 0.25% + (100 mA/10 mA) = 0.25% + 1% = 1.25%)。

8. 开关矩阵配置

超低电流/ 本地传感配置(4200-UL-LS-XX)

超低电流/ 本地传感开关配置采用吉时利7174A 低电流矩阵卡(带有707B 或708B 开关矩阵)构建,是为要求高质量、高性 能I-V 和C-V 信号开关的半导体研究、开发和生产应用设计的。这种配置提供了8 个仪器输入,支持最多72 个输出引脚, 典型偏置电流仅10 fA。

整体信息 (4200-UL-LS-XX)
接口类型
3 槽三同轴
最大信号电平
200 V, 1 A
偏置电流
<1 pA ( 行A-B)
最大泄漏电流
0.01 pA/V
3 dB 带宽
30MHz 典型值
4200-LC-LS-12/B 或-12/707B

1 台708B ( 或707B) 开关主机
1 个7072 矩阵开关卡
12 根4200-TRX-3 电缆
1 根7007-1 IEEE-488 电缆
2 个7078-TRX-BNC 转接头

4200-LC-LS-24/B 或-36B, -48B, -60B, -72B

1 台707B 开关主机
每12 针1 个7072 矩阵开关卡
每12 针12 根4200-TRX-3 电缆
1 根7007-1 IEEE-488 电缆
2 个7078-TRX-BNC 转接头

707B 6 插槽半导体开关矩阵主机

708B 单插槽半导体开关矩阵主机

低电流/ 本地传感配置(4200-LC-LS-XX)

低电流/ 本地传感开关配置采用吉时利7072 半导体矩阵卡构建,是为要求优异质量的I-V 和C-V 信号的半导体应用专门设计 的。这种配置提供了8 个仪器输入,支持最多72 个输出引脚,偏置电流不到1 pA。

整体信息(4200-LC-LS-XX)
连接器类型
3 蝶阀三轴电缆连接器
最大信号电平
200 V, 1 A
偏置电流
<1 pA ( 第A-B 行)
最大泄漏电流
0.1 pA/V
3 dB 带宽
5 MHz 典型值( 第G-H 行)
4200-UL-LS-12/B 或-12/707B

1 台708B ( 或707B) 开关主机
1 个7174A 开关卡
每12 针12 根4200-TRX-3 电缆
1 根7007-1 IEEE-488 电缆
2 个7078-TRX-BNC 转接头

4200-LC-LS-24/B, -36/B, -48/B, -60/B, -72/B

1 台707B 开关主机
每12 针1 张7072 矩阵开关卡
每12 针12 条4200-TRX-3 电缆
1 条7007-1 IEEE-488 电缆
2 个7078-TRX-BNC 转接头

9. NBTI/PBTI 套件

4200-BTI-A 套件同时提供了吉时利高级DC I-V 和超快速I-V 测量功能及自动测试执行软件,提供了半导体测试行业内最先进的NBTI/PBTI 测试平台。

4200-BTI-A 超快速NBTI/PBTI

4200-BTI-A 套件包括在尖端硅CMOS 技术上进行最完善的NBTI 和PBTI 测量所需的全部仪器、互连和软件。

Model 4200-BTI-A

提供了单机集成解决方案中最佳的高速度、低电流测量灵敏度。

确保源/ 测量仪器在进行低电平测量时不会成为限制因素。
ACS 软件以套件方式提供,支持构建复杂的测试序列,包括最多20 个测量序列及多种探针台驱动。它还:
把DC I-V 和超快速I-V 测量简便集成到加压前和加压后测量序列中。
使用AC 或DC 压力分析退化和恢复特性。
在较长的压力测量序列中包括单脉冲电荷阱陷(SPCT) 测量。

4200-BTI-A 超快速NBTI/PBTI 包括:

1 个4225-PMU 超快速I-V ???br /> 2 个4225-RPM 远程前端放大器/ 开关???br /> 自动化特性分析套件(ACS) 软件
超快速BTI 测试项目???br /> 线缆

使用8 个SMU 对20 个器件进行并行HCI 和NBTI 测试的实例。公共端子使用单独的接地单元(GNDU)。

10. Clarius+ 软件

Clarius+ 软件为运行和维护4200A-SCS 参数分析仪提供了各种工具。

自带的软件???/h5>
Clarius
用来测试和分析器件、材料和工艺特点的图形用户界面。Clarius 软件提供了统一测量界面,引导您完成复杂的特性分析测试,您可以把重点放在研发项目上。
吉时利用户库工具(KULT)
协助测试工程师创建自定义测试程序,使用现有的吉时利和第三方C 语言子例程库。用户可以编辑和汇编子例程,然后把子例程库与KITE 集成在一起,允许4200A-SCS 从一个用户界面控制整个测试机架。要求选配4200-Compiler。
吉时利外部控制接口(KXCI)
通过GPIB 总线从外部计算机控制4200A-SCS。
吉时利配置工具(KCon)
允许测试工程师配置连接到4200A-SCS 的GPIB 仪器、开关矩阵和探针台。同时还提 供了一些诊断工具。
KPulase
一个图形用户界面,无需编程,用来配置和控制安装的4225-PMU 或4220-PGU 脉冲 发生器???。它用于快速测试,与其他4200A-SCS 测试资源的交互要求达到最小。
Clarius 用户界面软件
Clarius 4200A-SCS 上运行的标配用户界面软件。Clarius 在嵌入式Windows 7 操作系 统上运行。它为现代半导体器件、材料和工艺特性分析提供了测试方案选择和开发、高 级测试配置、参数分析和图示及自动化功能。
数据分析
提供了两种参数提取方式。Formulator 为执行自动线拟合和参数提取执行数据变换。电 子表格提供了标准电子表格分析工具。许多样例库都包括参数提取实例。
Formulator
Formulator 支持数学运算功能、转换功能、搜索功能、常用行业常数和线拟合/ 参数提 取功能。Formulator 支持下述功能:
数学函数
加(+), 减(-), 除(/), 乘(*), 指数(^), 绝对值(ABS), 索引位置值(AT), 平均数(AVG), 移动 平均(MAVG), 条件计算(COND), 导数(DELTA), 差分系数(DIFF), 指数(EXP), 平方根 (SQRT), 自然对数(LN), 对数(LOG), 积分(INTEG), 标准方差(STDEV), 移动求和 (SUMMV), 反余弦(ACOS), 反正弦(ASIN), 反正切(ATAN), 余弦(COS), 正弦(SIN), 正切(TAN)
转换功能
弧度到度(DEG), 度到弧度(RAD)
直线拟合和参数提取功能
指数直线拟合(EXPFIT), 系数a (EXPFITA), 系数b (EXPFITB),线性拟合(LINFIT), 线性 斜率(LINFITSLP), x 截距(LINFITXINT), y 截距(LINFITYINT) 对数线拟合(LOGFIT), 系数 a (LOGFITA), 系数b (LOGFITB) 线性回归线拟合(REGFIT), 斜率(REGFITSLP), x 截距 (REGFITXINT), y 截距(REGFITYINT) 切线拟合(TANFIT), 斜率(TANFITSLP), x 截距 (TANFITXINT), y 截距(TANFITYINT) 多项式线拟合包括POLYFIT2、POLY2COEFF 和 POLYNFIT。最大值(MAX), 最小值(MIN), 中值(MEDIAN)
搜索功能
向下查找(FINDD), 向上查找(FINDU), 使用线性插补查找(FINDLIN), 最大值位置(MAXPOS), 最小值位置(MINPOS),第一个位置(FIRSTPOS), 最后一个位置(LASTPOS) 子阵列 (SUBARRAY), 返回指定数量的点(INDEX)
Formulator 常数
Formulator 支持用户提供的常数,用于参数提取。以下常数在出厂时软件自带常数:
PI = 3.14159 rad (π)
K = 1.38065 × 10-23 J/K ( 玻尔兹曼常数)
Q = 1.60218 × 10-19 C ( 电子的电荷)
M0 = 9.10938 × 10-31 kg ( 电子质量)
EV = 1.60218 × 10-19 J ( 电子电压)
U0 = 1.25664 × 10-6 -2 ( 磁导率)
E0 = 8.85419 × 10-12 F/m ( 真空的磁导率)
H = 6.62607 × 10-34 J-s ( 普朗克常数)
C = 2.99792 × 10+8 m/s ( 光速)
KT/Q = 0.02568 V ( 热电压)
自动化
测试序列
Clarius 在一个器件、一组器件( 子站、??榛虿馐缘ピ? 或晶圆上用户可编程数量的 探针台上提供了“指向点击”测试定序功能。
探针台控制
吉时利集成了很多探针台驱动可以在测试过程中自动控制探针台。与工厂联系来确认支 持的探针台厂家及型号。“手动”探针台模式允许操作人员在测试序列过程中对探针台 进行操作。
支持的探针台
手动探针台
使用手动探针台驱动进行测试,而不需使用自动探针台功能。手动探针台由操作人员控 制来代替电脑控制。在每条命令下,会出现一个对话提示框,指导操作人员要求哪些操作。
 
虚拟探针台
在不希望探针台操作时可以使用虚拟探针台,如在调试时,而没有必要从测试序列中删 除探针台命令。
 
支持的半自动( 分析) 探头
Cascade Microtech Summit™ 12K 系列- Verified with Nucleus UI Karl Suss Model PA-200-Verified with Wafermap for ProberBench NT, ProberBench NT 专用NI-GPIB 驱动程序, ProberBench NT 专用PBRS232 接口, Navigator for ProberBench NT, Remote Communicator for ProberBench NT MicroManipulator 8860 Prober-Verified with pcBridge, pcLaunch, pcIndie, pcWfr, pc-Nav, pcRouter Signatone CM500 驱动器还适用于带有互锁控制器的其他Signatone 探头, 如WL250 和 S460SE Wentworth Laboratories Pegasus™ FA 系列
其他支持但没有列出的探头
吉时利用户库工具(KULT)
(要求选配4200-COMPILER)

吉时利用户库工具支持创建及把C 语言子例程库与测试环境集成起来。用户库??樵贑larius 中通过用户测试??榉梦?。出 厂时提供的库为支持的仪器提供启动和运行功能。用户可以编辑和编译子例程,然后把子例程库与Clarius 集成在一起,允许 4200A-SCS 从一个用户界面控制整个测试机架。

系统配置和诊断(KCON)

吉时利配置工具(KCON) 简化了编程和维护全面集成的测试站的工作。KCON 为配置外部仪器、开关矩阵和探针台及执行系 统诊断提供了统一的界面。

外部仪器配置
KCON 允许实验室管理员把外部仪器与4200A-SCS 及支持的开关矩阵集成起来。在用 户为支持的仪器配置GPIB 地址后, 吉时利提供的库将起效, 测试??榭梢栽?4200A-SCS 系统之间转移,用户不需要做任何修改。除支持的标准仪器外,通用仪器允 许用户为通用的2 端子或4 端子仪器开发子例程和控制开关。为实现最大的系统扩展能力, 用户可以为通用仪器开发自己的测试库。
开关矩阵配置
用户通过支持的开关矩阵配置定义4200A-SCS 仪器和外部仪器到被测器件(DUT) 引脚的连接。( 参见开关矩阵支持和配置) 一旦定义了连接,用户只需输入仪器端子 名称和引脚编号,就可以建立连接。4200A-SCS 应用和标准用户库管理在仪器端子 与DUT 引脚之间输送测试信号。用户不需要记住和编程行和列闭合。测试??榭梢栽?4200A-SCS 系统之间转移,而不需要重新输入连接信息。
4200A-SCS 仪器诊断
通过运行系统自检,用户可以确认SMU、C-V 测量单元、脉冲发生器、示波器和远程前 端放大器的系统完整性。对比较复杂的问题,系统的配置分析工具可以生成报告,帮助 吉时利技术支持人员诊断问题。
吉时利外部控制接口(KXCI)

通过KXCI,您可以使用外部计算机直接控制4200A-SCS 中的SMU 和CVU ???。KXCI 还可以使用UTM 通过内置GPIB 或 以太网间接控制超快速I-V 脉冲测量单元。对SMU,KXCI 命令集包括HP 4145 兼容模式,HP4145 的许多已写好程序尽可以 在4200A-SCS 上使用。

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